PI PD72Z1x PIFOC物鏡掃描系統

  PI PIFOC系列的壓電撓性平臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務中提供高動態性。用于平行和垂直于光軸的XY試樣定位以及物鏡 Z 聚焦的良好適配解決方案可作為標準產品提供。與控制器和所有必需的連接電纜和軟件一起的系統中也可以方便地使用階段。與所有壓電系統一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀在交付時都經過測量日志預先校準。

-PI用于亞納米分辨率的高動態壓電驅動器

-PI帶有數字控制器、軟件和可選 QuickLock 螺紋適配器的完整系統

-USB、RS-232、模擬接口

-PI行程 100 µm

-PI具有亞納米分辨率的物鏡精細定位

-PI零間隙、高精度撓性導軌系統

-PI使用電容式傳感器進行直接位置測量

-PI與 MetaMorph、μManager 和 MATLAB 兼容

-PI所有伺服控制參數均可在運行過程中更改

-直接位置測量帶來的大精度

運動直接在運動平臺上測量，不受驅動或導向元件的任何影響。這實現了佳的可重復性、的穩定性和剛性、快速響應的控制。

-帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證的運動線性度、長期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。

-用于快速啟動生產操作的廣泛軟件

得益于MATLAB 和 NI LabVIEW以及所有常見操作系統（Windows、Linux 和 macOS）的支持，集成幾乎可以在所有環境中成功 - 快速高效。復雜的編程示例和PIMikroMove等軟件工具大大縮短了生產操作的時間。

PI PD72Z1x PIFOC應用領域

-顯微鏡

-共聚焦顯微鏡

-3D成像

-篩選

-自動對焦系統

-表面分析

-晶圓檢測

PI PD72Z1x PIFOC物鏡掃描系統